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加熱式電容膜片真空計(jì)SKY@CDG160D/CDG200D

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加熱式電容膜片真空計(jì)

SKY@CDG160D/CDG200D

INFICON SKY CDG160D和CDG200D 高溫壓力計(jì)是實(shí)現(xiàn)

精確總壓測(cè)量與控制的理想之選。CDG160D 和CDG200D

真空計(jì)溫度分別控制在160°℃和200℃,具有的性

圖片1.png

能，適用于苛刻的半導(dǎo)體和等離子過(guò)程。在1托至1000托

滿刻度范圍內(nèi)均可使用，帶有所有常用類型的法蘭和現(xiàn)場(chǎng)

總線接口，能夠提供0至10伏、不受氣體類型限制的線性

壓力信號(hào)。INFICON 電容式壓力計(jì)采用超純氧化鋁陶瓷隔

膜，具有防腐蝕性。陶瓷傳感器具有信號(hào)穩(wěn)定性更佳、從

大氣恢復(fù)的速度更快、預(yù)熱時(shí)間短和使用壽命長(zhǎng)等諸多優(yōu)

勢(shì) 。INFICON CDG壓力傳感器品質(zhì)本效

益，適用于苛刻的半導(dǎo)體、等離子和真空應(yīng)用。

優(yōu)勢(shì)

·擁有成本更低，預(yù)熱速度快50%,節(jié)能，低功耗

·易于集成，各種滿刻度、法蘭和接口，標(biāo)配兩個(gè)設(shè)定點(diǎn)

·輕松一鍵調(diào)零或遠(yuǎn)程信號(hào)調(diào)零指令，可調(diào)零點(diǎn)偏移

·診斷端口用于快速維修和維護(hù)

·兩年保修服務(wù)， HT 加熱概念和真空計(jì)保護(hù)延長(zhǎng)了使用壽

命

的信號(hào)穩(wěn)定性和可重復(fù)性，即使是最嚴(yán)苛的等離子

應(yīng)用，都無(wú)需長(zhǎng)期執(zhí)行重新校準(zhǔn)

·合規(guī)和標(biāo)準(zhǔn)：CE、EN、UL、SEMI、RoHS

應(yīng)用范圍

·蝕刻、CVD、PVD及其他半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程

·化學(xué)和腐蝕性高溫過(guò)程

·需要真空計(jì)保護(hù)的一般薄膜和真空過(guò)程

SKY@CDG160D/CDG200D

1) 優(yōu)化的壓力控制信號(hào)濾波器設(shè)置

2) 不能使用現(xiàn)場(chǎng)總線接口

粗體=標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品

其他法蘭類型可按要求提供。

SKY@CDG160D/CDG200D

規(guī)格(以托為單位的標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品)

測(cè)量范圍	托	1000	100 10	1
FS(滿刻度)	毫巴帕	133,322 1333	13,332 1,333 133 13.3	133 1.3
精度1)	讀數(shù)%		0.4
溫度效應(yīng)
需點(diǎn)	%FS/℃		0.005
滿量程	讀數(shù) % / ℃		0.02
最大壓力	千帕(絕對(duì))	400	260 260	260
分辨率	%FS		0.003
讀數(shù)	%FS		0.01
建議的讀數(shù)	%FS		0.05
建議的控制壓力	%FS		0.5
溫度
運(yùn)行(環(huán)境)2	℃		+10 .+50
在法蘭處烘烤	℃		≤200
存儲(chǔ)	℃		-20 .…+65
電源電壓			+21 …+30伏(直流)或±15伏(±5%)
加熱時(shí)功耗
CDG160D	W		≤18
CDG200D	W		≤25
運(yùn)行溫度時(shí)的功耗 CDG160D CDG200D	W W		≤12 ≤18
輸出信號(hào)(模擬)	伏(直流)		0.…+10
響應(yīng)時(shí)間3)	毫秒		30
防護(hù)等級(jí)			IP 40
標(biāo)準(zhǔn) CE符合性 ETL認(rèn)證 SEMI合規(guī)性			EN 61000-6-2、EN 61000-6-3、EN 61010 UL 61010-1、CSA 22.2 No.61010-1 SEMI S-2
電氣連接			D-Sub,15針，公頭
設(shè)定值			2個(gè)設(shè)定點(diǎn)(SP1、SP2)
繼電器觸點(diǎn)	伏(直流)/安(直		≤30/≤0.5
滯后	流 ) %FS		1
診斷端口協(xié)議讀設(shè)置暴露于真空的材料			RS232-C 壓力、狀態(tài)、ID 設(shè)定點(diǎn)、過(guò)濾器、調(diào)零、出廠設(shè)置復(fù)位、直流偏置氧化鋁陶瓷(Al?O?)、不銹鋼(AISI 316L?)

1)在25°℃環(huán)境運(yùn)行溫度下表現(xiàn)為非線性、滯后、再現(xiàn)性，運(yùn)行兩小時(shí)后無(wú)溫度效應(yīng)

2) 環(huán)境溫度>40℃,可能會(huì)使表面溫度高于SEMIS2 合規(guī)水平—標(biāo)記“小心燙傷!"

3)增加10.…90% FS

4)18%Cr、10%Ni、3%Mo、69%Fe

SKY@CDG160D/CDG200D

DEVICENET規(guī)格

DeviceNetTM
協(xié)議		DeviceNetTM,僅第2組從屬
數(shù)據(jù)率開(kāi)關(guān) 千波特		125、250、500或可網(wǎng)絡(luò)編程
電纜長(zhǎng)度 125 kbps 米(英尺) 250 kbps 米(英尺) 500 kbps 米(英尺)		500(1650) 250 (825) 100 (330)
MAC ID		兩個(gè)開(kāi)關(guān)(地址00-63)或可網(wǎng)絡(luò)編程
數(shù)字功能		讀取壓力，選擇單位：托、毫巴、帕脫氣功能，皮拉尼滿刻度調(diào)節(jié) 監(jiān)測(cè)真空計(jì)狀態(tài) 安全狀態(tài)允許定義出錯(cuò)時(shí)的行為詳細(xì)的警報(bào)和警告信息
模擬功能		0 …10伏模擬輸出壓力指示兩個(gè)設(shè)定點(diǎn)繼電器A+B
視覺(jué)通訊指示燈		LED網(wǎng)絡(luò)狀態(tài)(綠色/紅色) LED模塊狀態(tài)(綠色/紅色)
規(guī)格		DeviceNetTM“真空計(jì)設(shè)備概況"
設(shè)備類型		“CG"表示組合儀表
/O從屬傳訊		只輪詢
設(shè)定點(diǎn)繼電器范圍繼電器觸點(diǎn) 滯后觸點(diǎn)額定值	毫巴讀數(shù)% 伏/安(直流)	2 1×10°…100 常開(kāi)，無(wú)電勢(shì) 10 60/0.5
DeviceNetTM的電源電壓真空計(jì)的電源電壓 DeviceNetTM的連接器	伏/安(直流) 伏/安(直流)	+11-+25/0.5 +20 -+28/0.8 微型，5針 D-Sub,15針，公頭
真空計(jì)的連接器(模擬輸出、電源電壓、設(shè)定點(diǎn)

PROFIBUS

Profibus

D規(guī)格

波特率	千波特兆波特	9.6/19.2/93.75/187.5/500 1.5/12
地址		9.6/19.2/93.75/187.5/500 1.5/12
地址		兩個(gè) 開(kāi) 關(guān) ( 地址 0 0 - 1 2 7 ) 或可網(wǎng) 絡(luò) 編程
數(shù)字功能		讀取壓力，選擇單位：托、毫巴、帕脫氣功能，皮拉尼滿刻度調(diào)節(jié) 監(jiān)測(cè)真空計(jì)狀態(tài)、燈絲狀態(tài) 安全狀態(tài)允許定義出錯(cuò)時(shí)的行為詳細(xì) 的警報(bào) 和警告信息
模擬功能		0…10伏模擬輸出壓力指示兩個(gè) 設(shè) 定點(diǎn) 繼電器 A + B
設(shè)定點(diǎn)繼電器		2
范圍	毫巴	1×10?.…100
繼電器觸點(diǎn)		常開(kāi)，無(wú)電勢(shì)
滯后	讀數(shù) %	10
觸點(diǎn)額定值	伏/安(直流)	≤30/≤0.5
Profibus DP的連接器		D-Sub,9 針，母頭
BPG 的連接器(模擬輸出、電源電壓、設(shè) 定點(diǎn) )		D-Sub,15 針，公頭

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